试样的制备中高频淬火设备电子探针射线显微分析仪对试样是有必定请求的。按外形的不合，试样大年夜致可分为块状、粉末及薄膜三类。块状试样的尺寸受仪器的试样室及试样座大年夜小限制一般圆形试样以咖，方形试样以的*大年夜外面积为好。当要定量分析时，试样外面的高低不平将降低实验成果的*性，是以试样外面必须进行抛光处理。在研磨时不要使试样外面出现浮雕状平面，并且不要使研磨剂等残存在试样的外面或内部。

　　对于非导体试样，需在扭转中高频淬火设备真空室中喷碳或其他金属，使其外面能导电。喷膜的厚度应。对于粉末试样，若只需懂得其总的成分，则可用紧缩成型或烧结等办法把粉末压在一路，用与分析块状试样雷同办法进行分析。若需懂得粉末成分，则可在金属片上涂敷导电涂料，然后把粉末试样粘在上面，或将试样包埋在树脂等资估中，等其硬化后将试样固定，再对试样进行研磨和喷镀。对于薄膜试样，可用电子显微镜萃取复型的办法萃取试样，然则保存试样时要十分当心，应使试样有较好的平整度，并尽量使萃取物掉落下来，以免影响分析成果。

　　中高频淬火设备处理的试样断面边沿部分进行成分分析抛磨时，请求外面不出现圆角或倾斜，应把试样镶嵌起来。因为应用电子探针X射线显微分析仪的目标主如果懂得组织与其构成元素的关系，一般须要对试样进行腐化，所以必须卖力地研究试样与腐化剂之间的关系，尽可能轻轻地进行腐化，以使腐化后的试样外面不产生化学成分的变更。对试样进行电子探针分析时，试样必须接地，是以试样应具有优胜的导电性。